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GC特氣柜（Gas Cabinet）和GR特氣架（Gas Rack）的功能安裝設計

特氣柜Gas Cabinet是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應而設計的供應系統(tǒng)，按類別可分為：全自動、半自動和手動操作?；竟δ馨ㄗ詣哟祾摺⒆詣忧袚Q以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發(fā)時）。

全自動氣柜通過采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置，實現(xiàn)設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導體工藝生產過程中對特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。下面由京南華建技術為大家簡單介紹一下GC特氣柜（Gas Cabinet）和GR特氣架（Gas Rack）的功能設計。

特氣柜/架，VMB/VMP簡介

GC—Gas Cabinet 氣瓶柜(用于危害性氣體) GR—Gas Rack 氣瓶架(用于危害性氣體)

VMB—Valve Manifold Box 閥門箱(用于危害性氣體) VMP—Valve Manifold Panel 閥門盤(用于危害性氣體) 特氣柜和VMB主要用于易燃易爆腐蝕有毒等危害性氣體，而氣瓶架和VMP一般用于非危害性氣體；主要區(qū)別在于，特氣柜和VMB都要有一個外殼上有抽風管，當發(fā)生小泄露等危險情況時可將此類氣體排出去避免擴散產生更大危險。

全自動氣柜的功能設計